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摘要：本报告系统梳理高性能微惯性传感器的技术演进历程，重点剖析 MEMS 惯性器件在精度提升、噪声抑制与温漂补偿等方面的核心突破路径，探讨材料、工艺与封装技术对器件性能的关键影响，并展望其在航空航天、智能导航等领域的应用前景与发展方向。